平成24年度採択案件／技術提案型（旧制度）

共同研究実施体制

ユニットリーダー：住友精密工業株式会社　MEMS事業開発室　室長　小巻　賢治
JAXA研究者：宇宙輸送ミッション本部宇宙輸送系要素技術研究開発センター主任開発員笹田武志

共同研究の背景及び概要

ロケットの慣性航法ユニット（IMU）に内蔵されるリング・レーザ・ジャイロ（RLG）に代わり、民生分野で広く普及するマイクロマシニング技術（MEMS）を用いた宇宙用高精度MEMSジャイロ※を共同研究する。

本研究では、MEMSジャイロの中でも最高レベルの精度であるシリコン・リング振動型ジャイロに対し、温度特性のデジタル補正とMEMSセンサーヘッドの特性改善を行い、従来比10倍以上の精度向上を図る。

この成果は、ロケットのみならず、衛星の姿勢制御（レートセンサ）、さらに資源探査や地震観測など高精度な方位精度を必要とする分野にも適用できる。

※ジャイロ（解説）：
角度・角速度を検出する装置。慣性航法装置に内蔵される。複数の方式があるが、光学式のリング・レーザ・ジャイロ（RLG）は最も高精度。次に光ファイバージャイロ（FOG）が続く。本MEMSは機械式ジャイロ。