試料の硬さや弾性係数などを測定

試料に圧子を押しつけ、その変位と荷重との関係を測定することにより、試料の硬さや弾性係数などを測定する装置です。原理は、ビッカース硬さ計と全く同じですが、負荷する荷重が数十~数百mgときわめて小さいため、圧子を押し込んだ影響が深くまで及ぶことがなく、μmオーダーの厚さの被膜のみの機械的性質を測定できます。バラツキが大きいという欠点を補うため、本装置では統計的に処理得きるように自動多点計測ができるようになっています。

部署 研究開発部門
メーカ、形式 エリオニクス製、ENT-1100
押込み加重 0.01~100gf
圧子変位 測定範囲: 20μm
測定分解能: 0.3nm
試料台移動 XY方向: 50mm
Z方向: 5mm
分析可能な試験片 φ50mm以下、厚さ10mm以下
料金 3,128円/時間

※利用料金は年度毎に算定します。また、年度途中にも予告なく改定することがあります。詳しくは下記フォームよりお問い合わせ下さい。

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