想定される用途:太陽電池用半導体の検査・評価等

内部クラックや電気短絡状態等の欠陥を簡単に検出できます。
欠陥の分布状態を検出できます。

従来技術

太陽電池のクラック等の欠陥を発見するためには、斜光照明を当てたときと落射照明を当
てたときの画像を比較して欠陥の判定をする装置等がありますが、表面のクラックしか検
出することができず、内部のクラックは検出することができない上、電気的な欠陥(短絡状
態等)は、別の方法で検出する必要がありました。


本発明の特徴

・表面のクラックも内部のクラックも両方検出できます。
・簡易な装置構成で、欠陥を検出できます。
・自動化することで、検査が高速化し、検査の信頼性も向上します。

特許番号 特許4915991号等
正式名称 太陽電池の欠陥検査装置及びその方法

EXAMPLE

その他の特許