想定される用途:精密ガラス、レンズ、ウエハ検査装置等

短時間で精度よく被測定体の平面度を測定できます。
透過・不透過材料共に適用可能です。

従来技術

光の干渉現象を利用した平面度を測定する方法は従来から行われていますが、精度よく短
時間に平面度を計測することができないという問題があります。また、白色光を用いる 3
次元構造解析装置では、照射範囲が限定されるため、測定可能な領域が狭く、大面積の測
定には長時間を要するという問題があります。


本発明の特徴

・従来の精度を大幅に超える高精度での平面度測定が可能となります。
・従来の 3 次元構造解析装置のように、測定対象へのサイズ制限が課されることがあ
りません。

特許番号 特開2010-197281
正式名称 対向面内所定位置における対向面間距離測定装置及び方法、及びそれらを用いた高平面度加工方法

EXAMPLE

その他の特許