想定される適用例:医療機器、分析装置

従来技術・競合技術との比較

シリコンを押し曲げ(弾性変形)、理想曲面に近づけたうえで多数の鏡を同心円状に多数並べる手法はありましたが、部材とシリコンの間に微少なダストが挟まるなどして、押さえ方が微妙にずれたり、経年変化や温度変化によって曲面形状に狂いが生じて、結像性能が安定しないという弱点がありました。塑性変形では形が保持されるためこの弱点を克服できます。


技術概要・特徴

X線による天体観測で用いられる望遠鏡の鏡には、高い精度と軽量性が求められます。従来の手法では高い精度を達成するには、剛性が高く、厚い鏡母材を使う必要があり、重量とトレードオフの関係にありました。そこで新たな鏡母材として注目されているのが、高い剛性と軽量性を兼ね備えたシリコンです。
本技術は、リソグラフィ技術による多数の平行溝をシリコン基板へ形成する技術、及び高温で圧力を加えた塑性変形技術により生み出した、軽量かつ精度が高いX線反射鏡の製作技術です。 

【本技術の特徴】
・高い剛性と軽量性を兼ね備えたシリコン基板の表面を鏡にする
・リソグラフィー技術による多数の平行溝の形成によって、簡単に鏡を多数配置
・高温及び加圧による自由な形状への塑性変形

特許番号 EPC-2317521、US-8824631
発明名称 X線反射装置

EXAMPLE

その他の特許