均一組成・大口径・長尺の固溶体結晶の作製技術

想定される用途:検査機器等
市販の反射濃度計測器では、反射率が既知の校正用基準板を 2 枚(反射率が大きく異なる)
用意し、照射光量を変化させず校正しますが、照射光量安定化のため装置のコストアップ、
大型化が問題でした。また、反射率が既知の校正用基準板を 1 枚用い、照射光量を変えて
校正する場合には、ノイズにより測定精度に問題がありました。
特許番号 | 特開2011-232268 |
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正式名称 | 校正機能を備えた反射率及び反射濃度の計測方法及びそれを実施するシステム |