(Japanese) 想定される適用例:医療機器、分析装置

(Japanese) X線反射装置製造における
低コスト化・軽量化を実現

(Japanese) 従来技術・競合技術との比較

(Japanese) 微細加工技術を複合的に使用することで、安価に面積が大きく軽量なX線光学系を製作できます。


(Japanese) 技術概要・特徴

(Japanese) X線による天体観測で用いられる望遠鏡の鏡には、高い精度と軽量性が求められます。従来の手法では鏡を研磨などによって1枚1枚製作していましたが、精度と重量の両立が難しく、また多くの鏡を製作するためのコストがかかっていました。
本技術は、シリコン基板にドライエッチングを行い、複数の曲線状のスリットを形成する工程と、複数のスリットの各側壁をアニールや磁性流体を用いて平滑化し、X線反射面を形成する工程を含むX線反射装置の製造技術です。 

【本技術の特徴】
・高精度加工と変形=高い角度分解能が可能
・大量生産可能=低コスト化
・シリコンの微細加工 = 軽量・コンパクト

(Japanese) 特許番号 (Japanese) 特許第5540305号
(Japanese) 発明名称 (Japanese) X線反射装置及びその製造方法

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その他の特許