ナノインデンター

試料の硬さや弾性係数などを測定

試料に圧子を押しつけ、その変位と荷重との関係を測定することにより、試料の硬さや弾性係数などを測定する装置です。原理は、ビッカース硬さ計と全く同じですが、負荷する荷重が数十～数百mgときわめて小さいため、圧子を押し込んだ影響が深くまで及ぶことがなく、μmオーダーの厚さの被膜のみの機械的性質を測定できます。バラツキが大きいという欠点を補うため、本装置では統計的に処理得きるように自動多点計測ができるようになっています。