X線による天体観測で用いられる望遠鏡の鏡には、高い精度と軽量性が求められます。従来の手法では鏡を研磨などによって1枚1枚製作していましたが、精度と重量の両立が難しく、また多くの鏡を製作するためのコストがかかっていました。
本技術は、シリコン基板にドライエッチングを行い、複数の曲線状のスリットを形成する工程と、複数のスリットの各側壁をアニールや磁性流体を用いて平滑化し、Ｘ線反射面を形成する工程を含むＸ線反射装置の製造技術です。　

【本技術の特徴】
・高精度加工と変形＝高い角度分解能が可能
・大量生産可能＝低コスト化
・シリコンの微細加工 = 軽量・コンパクト