宇宙X線検出器の微量分析への応用を目指した読み出し系の開発

共同研究実施体制

ユニット名：宇宙Ｘ線検出器の微量分析等の産業への応用ユニット
ユニットリーダー：エスアイアイナノテクノロジー(株) 技術第5グループ課長　中山哲
ユニットメンバー：エスアイアイナノテクノロジー(株) 田中啓一ほか

共同研究の背景及び概要

JAXA特許保有の宇宙X線検出技術を、産業用のX線微量分析のセンサーに応用する研究。実現すれば従来方式の感度を飛躍的に向上させ、ppmレベルの微量元素の非破壊分析が可能となります。次世代ウエハー汚染検査等の産業分野への応用が大いに期待できます。本事業化研究では、まず微量分析用のセンサーの開発に必須となる多画素素子の読み出し系に焦点を絞って開発を行います。