高真空型静電浮遊炉

高真空型静電浮遊炉

静電浮遊炉は、試料を静電気力で浮遊させてレーザーで溶融、凝固できる装置です。2000 ºC以上の高融点を持つ物質を溶融し熱物性値（密度、表面張力、粘性係数、比熱）を計測できます。また、容器を使用しないため高純度の高融点材料を合成できます。

その中でも高真空型静電浮遊炉は10⁻⁵ Pa程度の高真空下を保持するため、金属・半導体等、試料の酸化が問題となる試料に適しています。加熱は、水平3方向からの炭酸ガスレーザー（3本、各出力最大100W）と上方からのNd:YAGレーザー（500W）を用いて行われます。これまでに、金属元素中最高の融点を持つタングステン（融点約3400℃）を初めとする高融点金属や合金の溶融に成功しています。