共同研究の背景及び概要

真空環境における帯電は、宇宙環境のみならず半導体製造の諸工程等の地上においても常に問題となる。極限環境での静電気計測の対応を図る上で宇宙用と半導体製造装置用では、「真空、プラズマ、高温、低温」という環境要因、脱ガス・汚染・小型化への対策という共通課題がある。

本研究では、「衛星帯電防止電子エミッタ開発＊」等の成果を活用して、半導体前工程におけるデバイスの大幅な歩留まり向上を目的として半導体製造前工程内部で使用可能な表面電位計を開発する。

＊宇宙オープンラボ「衛星の帯電を防止する受動型電子エミッタの実用化研究」（平成19年度～21年度　九州工業大学他）