宇宙用も量産品と
同じラインで製造

ミネベアは、1951年に日本ミネチュアベアリングというベアリング専門メーカーとして事業を開始した。その後、企業買収・合併を積極的に進め、回転機器、電子機器など電気電子関連製品が売り上げの半分以上を占める総合精密メーカーに成長している。

同社の計測機器事業部は1981年に吸収合併したひずみ測定器メーカーの新興通信工業が母体となっている。現在では、日本の藤沢工場(神奈川県藤沢市)、軽井沢工場(長野県・御代田町)、タイのロッブリ工場、中国・上海市の西岑工場という4カ所の拠点で、ひずみゲージやの技術を応用したロードセル、圧力センサ、トルクセンサなど各種計測機器を生産している。

宇宙分野の圧力センサには、高精度に測定できるSOS(シリコン・オン・サファイア)という技術を用いて製造するひずみゲージが使用されている。低コストで製造するため、専用のラインは設けておらず、量産品と同じラインで製造する。現在では大型ロケット「H-IIA/B」の液体酸素・液体水素のタンク圧、ロケットの燃焼圧、宇宙ステーション補給機「HTV」の与圧部の圧力センサなどに同社の製品が使用されている。

宇宙用圧力センサの開発・製造拠点であるミネベアの軽井沢工場。世界に散らばる製造拠点のマザー工場でもある。

SOS(シリコン・オン・サファイア)技術を用いて製造したひずみゲージ。サファイア基板に半導体ひずみゲージを結合したものだ.

シリコンに不純物を拡散する熱処理炉は、クリーンルーム内に設置されている。

ひずみゲージの厚さを測定する。400μmの厚さに対し、±3μmしか許されない。

ダイシングソーで基板から1個ずつのひずみゲージに切断する。右は切断したひずみゲージ。

電子ビーム溶接機を使って金属同士を溶接する。右は配線済みのゲージ。

信号線の抵抗値を測定する。

チップ抵抗を組み合わせて、抵抗を微調整する工程。

最終組み立て。ハイブリッドICやコネクターを接続し、最後にカバーを取り付ければ完成だ.

H-IIA/Bの第1段用のエンジン「LE-7A」に使われている圧力センサ。

最終検査では、宇宙専用の検査装置を用いて完成した圧力センサの品質を厳しくチェックする。

ミネベア株式会社

INTERVIEW

インタビュー

ものづくりの世界では、未知の分野への挑戦が欠かせません

MINEBEA
電子機器製造本部 計測機器事業部長 浅川 英男氏

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